阻(zǔ)抗(kàng)量(liáng)測設備；阻抗計(jì)🥣；阻抗率(shuài)計；高阻(zǔ)
計；低(dī)阻計🗚；高阻抗計
；低阻抗(kàng)計；高阻抗率計；低(dī)
阻抗率計(jì)
；Resistivity meter；抵抗率計；阻(zǔ)抗分(fēn)析儀

📐；表麵阻抗計(jì)；桌上型低阻抗率計；手持式阻(zǔ)
抗率計
；四點探針👵；半導(dǎo)體係列；

高精確阻抗率計檢測法

前言
科技快速進步
，電子半導(dǎo)體的開發(fā)及應用，往(wǎng)往會應產品的需求而相對提高成品組合間的品質，如:阻抗，阻抗率。目前在(zài)半導體業間常需(xū)要(yào)此阻抗🤩
，阻抗率的數據來了解(jiě)其(qí)相互之間問題。由(yóu)於以(yǐ)傳統的方式來測量需要耗(hào)費人力
，物力及時間(jiān)去套入公式以求得(dé)結果(guǒ)

，造成檢(jiǎn)測中(zhōng)一大困(kùn)擾，因(yīn)此，日東精工分析(xī)科技便研(yán)發(fā)了更方便(biàn)的(dí)測量儀器來解決，不用(yòng)再計(jì)算(suàn)
繁瑣(suǒ)的公(gōng)式了💌。符合了國際間的ISO 1853
，ISO 2878，ASTM D991，JIS K 7194，JIS R 1637。

1-1 概念
Resistance阻抗：阻抗被用(yòng)於不同(tóng)狀態和物質性質，是做阻抗(kàng)是(shì)
隨物質形狀，大小，測定位置不同而變化🃾。
Resistivity阻抗率：阻抗(kàng)率乃為阻抗(kàng)（Ω）乘(chéng)
以阻抗率校正(zhèng)
因數（RCF）而來(lái)

，通常，它要經(jīng)過一番努力(lì)煩瑣(suǒ)
的計(jì)
算出(chū)校(xiào)正因(yīn)數(shù)後，才能換算得知。而日東精工微電腦阻抗率計能於短時(shí)間內輕易的精確處(chǔ)理出物質阻(zǔ)抗率。
阻抗：測值會隨條(tiáo)件(jiàn)變化(huà)
的(dí)。
阻抗率：是對絕對值，對每個物質來(lái)說它隻有一個測值。
例：測(cè)量黃金時(shí)



Resistance（Ω）
2.4× 10-8 Ω big< 2.4× 10-6 Ω bigger< 2.4× 10-2 Ω

Resistivity（Ωcm）
2.4× 10-6 Ωcm changeNo.＝ 2.4× 10-6 Ωcm changeNo.＝ 2.4× 10-6 Ωcm

“Ω”or“Ωcm”- which will you use for evaluating materials?



“Resistivity” is a simple index for classifying all the materials in the world.

1-2 阻抗（Resistance）和(hé)
阻抗率計（Resistivity）之間的關係

～關鍵在阻抗率校正因(yīn)數（RCF） ～
♦ Resistance阻抗(kàng)（R），阻抗=電阻
當一個電流（I）流穿一物質(zhì)，其(qí)電的阻抗乃緣由入口與出口(kǒu)間有一電位差（V）造成，故以公式表此關係即歐(ōu)姆定律(lǜ)(Ohm’s law)。
阻抗(kàng)R（Ω）=V[V]/I[A]

♦ Volume Resistivity體積阻抗率（ρν），阻抗率(shuài)
=電阻係數
表示(shì)物質每(měi)單(dān)位體積之阻抗👏。
“體積阻抗(kàng)率”也叫(jiào)做(zuò)
”特殊阻(zǔ)抗Specific Resistance”或”阻抗率”
“體(tǐ)積阻抗率(shuài)”是大部(bù)分利用於物質方麵之用詞；
“特(tè)殊阻抗”是共通於電學方之(zhī)用詞；
“阻抗率”常被用在(zài)物理(lǐ)學方麵之用詞。
體積阻(zǔ)抗率 ρν [Ωcm] ＝R [Ω] × RCF× t
此單位“Ωcm”讀(dú)為“厘米歐姆”每一物質為有一單(dān)一特性(xìng)值為體積(jī)阻抗(kàng)率
。



※Condductivity電導率（σ）
電導率是(shì)體積阻抗(kàng)率的相反
，它又被叫(jiào)“電的電導率”或“電導係數”。
電(diàn)導率(shuài) σ [ /cm ]＝1/ρν，此單位是“S/cm”讀做每厘米西門子。

♦ Surface Resistivity表麵(miàn)阻抗率（ρs）

表示(shì)物質(zhì)每單位表(biǎo)之阻抗
。
“表麵阻抗率”也叫(jiào)做“單張阻抗”其單位為“Ω”。然而為了要和阻抗（Resistance）區分🚬，所以被(bèi)寫為“Ω/□”或“Ω/sq”讀為“每歐姆平方”
。
表麵阻抗率因材質厚度不同而變化🤿，所以通常被利用於塗裝或薄膜方麵(miàn)，相(xiāng)反的
，它(tā)可被利用(yòng)於厚(hòu)度的判斷指標。
表(biǎo)麵(miàn)阻(zǔ)抗率 ρ[ Ω/sq ] ＝ R[ Ω ] × RCF ＝ ρν× 1/t

♦ Resistivity Correction Factor阻抗率校正因數（RCF）
通常以金屬電極（4針(zhēn)探頭）固定(dìng)於樣品表麵以測得阻(zǔ)抗。
阻抗乘以(yǐ)阻抗(kàng)率因素而計算出體積阻(zǔ)抗率及(jí)表麵阻抗率。 阻抗因數是依電(diàn)極之形號，尺寸🕻，內針距離(lí)或樣品之形狀
，尺寸，測定位置(zhì)而(ér)被(bèi)確定求出。
利用(yòng)Poisson’s方(fāng)程式可精確的求出於電(diàn)磁學的確定電位(wèi)。

1-3 阻(zǔ)抗率之計算(suàn) [傳統方法]
～阻抗率是物質(zhì)之(zhī)絕(jué)
對值～



Resistance R（Ω）= V[V]/I[A]
Volume Resistivity ρ[Ωcm]＝R [Ω] ×W/1× t
Surface Resistivity ρs [Ω/sq]＝R [Ω] ×W/1＝ρν×1/t