商品規(guī)格

阻抗率計(jì)自動測繪係統 MCP-S330

精(jīng)確測量表麵電阻率[Ω/ sq‧]和體積電阻率[Ω/ cm‧]不受樣本形(xíng)狀的影響😯。

導電(diàn)膜，金屬，金屬薄膜等的厚度和(hé)成份變化一目了然。

• 可(kě)與Loresta GX連接,測量範圍:10-4至107Ω

• 全自動：測量(liáng)🏊，算術，數據處理，3D圖形(xíng)輸出

• 樣品尺寸:300mm平方(可(kě)連續測量多張樣品(pǐn))

• 除三種(zhǒng)類(lèi)型的測量位置組，還(huán)可從外(wài)部源導(dǎo)入坐標數據：
  網格輸入😖，線輸入，順序輸入(rù)

• 比較器功能:於範圍外之測量結果，在(zài)螢幕上(shàng)標示其測定點

• 測定對象:金屬，金屬薄膜，導電塗料
  ，導電膜
  ，片材等

 高精確阻抗率計(jì)
檢測法

言
科技快速進步
，電子(zǐ)半導體的開發及應用，往(wǎng)往會應產品的需求而(ér)相對提高成品組合間的品質，如:阻抗(kàng)
🍪
，阻抗率🎯。目在(zài)半導體業間常需要此阻抗，阻(zǔ)抗(kàng)率的(dí)數據來了解其相互之間問題。由於以傳(chuán)統的方式來測量需(xū)要耗費人力，物力(lì)
及時(shí)間去套入公式以求得結(jié)
果，造(zào)成檢(jiǎn)測中(zhōng)大困擾，因此，日(rì)東精工分析科技便研發(fā)了更方便的測(cè)量儀器來解決(jué)
，不用再計算繁瑣的公(gōng)式了🛀。符合(hé)了國際(jì)間(jiān)的ISO 1853，ISO 2878，ASTM D991
，JIS K 7194，JIS R 1637。

1-1 概念
Resistance阻抗(kàng)🥙：阻抗被用於不同狀態和物質性質，是(shì)做(zuò)
阻抗是隨物質形狀
，大小
，測定(dìng)位置不同(tóng)而變化
。
Resistivity阻抗率🌿：阻抗(kàng)
率乃為(wéi)阻抗（Ω）乘以阻抗率校正(zhèng)因數（RCF）而來，通常，它要經過番努力煩瑣的計算出校正因數後
，才能換算得知。而日東精(jīng)工微電(diàn)腦阻抗率計能於短(duǎn)時(shí)間內輕易(yì)
的(dí)精確處理出物質阻抗率
。
阻抗😃：測值會隨條件變(biàn)化的。
阻抗率(shuài)
：是對絕對值🦉，對(duì)
每個(gè)物質來(lái)說它隻(zhī)有個測值(zhí)。
例：測量黃金時(shí)



Resistance（Ω）
2.4× 10-8 Ω big< 2.4× 10-6 Ω bigger< 2.4× 10-2 Ω

Resistivity（Ωcm）
2.4× 10-6 Ωcm changeNo.＝ 2.4× 10-6 Ωcm changeNo.＝ 2.4× 10-6 Ωcm

“Ω"or“Ωcm"- which will you use for evaluating materials?



“Resistivity" is a simple index for classifying all the materials in the world.

1-2 阻抗（Resistance）和(hé)阻抗率計（Resistivity）之間的關係(xì)

～關鍵在阻抗(kàng)率校正因數（RCF） ～
♦ Resistance阻抗（R），阻抗=電阻(zǔ)
當個電(diàn)流（I）流穿物質，其電的阻抗乃(nǎi)緣由入(rù)口與出口(kǒu)
間有電位(wèi)差（V）造(zào)成，故以公式表此關係即歐姆(mǔ)定律(Ohm’s law)。
阻抗R（Ω）=V[V]/I[A]

♦ Volume Resistivity體(tǐ)積阻抗(kàng)率（ρν），阻抗(kàng)率=電(diàn)阻係(xì)數
表示物質每單位體積之阻抗
。
“體積阻(zǔ)抗率(shuài)"也叫做"特殊阻抗Specific Resistance"或"阻(zǔ)抗率(shuài)"
“體積(jī)阻抗率"是(shì)大部分利(lì)用於物質方(fāng)
麵之用詞
；
“特殊阻(zǔ)抗"是(shì)
共(gòng)通於電學方之用詞；
“阻抗率"常被用在物(wù)理學方麵之(zhī)用(yòng)詞💙。
體積阻抗率 ρν [Ωcm] ＝R [Ω] × RCF× t
此單位“Ωcm"讀為(wéi)“厘米歐(ōu)姆"每物質為有(yǒu)單特性值為(wéi)
體(tǐ)積(jī)阻抗率。



※Condductivity電(diàn)導率（σ）
電導率是體積阻抗率(shuài)的相(xiāng)反(fǎn)，它又被叫“電的電導率"或“電導係數"🀀。
電(diàn)導(dǎo)率 σ [ /cm ]＝1/ρν
，此(cǐ)單位是“S/cm"讀做(zuò)每厘米西門子。

♦ Surface Resistivity表麵阻抗率(shuài)（ρs）

表示物質每單位表之阻(zǔ)抗。
“表麵阻抗(kàng)率(shuài)"也叫做“單張阻抗(kàng)"其單(dān)位為“Ω"。然而(ér)為了要和阻抗（Resistance）區分，所以被寫為(wéi)“Ω/□"或“Ω/sq"讀為(wéi)
“每(měi)歐姆平方"。
表麵阻抗率因材質厚度不同(tóng)而(ér)變化🃂，所(suǒ)以通常被利用(yòng)於(yú)塗裝或薄膜方麵，相反(fǎn)
的(dí)🦌，它可(kě)被利用(yòng)
於厚(hòu)度的判斷指標(biāo)。
表(biǎo)麵阻抗率 ρ[ Ω/sq ] ＝ R[ Ω ] × RCF ＝ ρν× 1/t

♦ Resistivity Correction Factor阻抗率校正因數(shù)（RCF）
通常以金屬電極(jí)（4針探頭）固(gù)定於樣品表麵以測得阻抗(kàng)。
阻抗乘以阻抗率因素而計算出體積阻(zǔ)
抗率及(jí)表麵阻抗率。 阻(zǔ)抗因(yīn)
數是(shì)依電極之形號
🥟，尺寸
，內針距離或樣品之形(xíng)狀，尺寸，測(cè)定位置而被確定求出。
利用Poisson’s方程式(shì)
可(kě)精確的求出於電磁學的確定電位(wèi)。

1-3 阻(zǔ)抗率之計算 [傳統方法(fǎ)]
～阻(zǔ)
抗率是物質之絕對(duì)值～