產品時間(jiān):2025-05-15
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日(rì)本日立HITACHI超高分辨場(cháng)發射掃(sǎo)描電子顯微(wēi)鏡Regulus係列 的詳(xiáng)細介紹
沿用"SU8200係列"的(dí)冷場發射電子槍*2
采用(yòng)電子束(shù)在Flashing後(hòu)出現的高亮(liàng)度穩(wěn)定(dìng)區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電(diàn)壓條(tiáo)件下兼備高分辨觀察(chá)和分析的佳性能
與現有機型相比分辨率提高(gāo)了20%左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV,Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用汙染小,高真(zhēn)空樣品(pǐn)倉
運用能量過濾(lǜ)器(選配),可(kě)觀察到多種成(chéng)分對比度*2
極低(dī)著陸電壓下高分辨(biàn)觀察日立高新(xīn)超高分辨率場發(fā)射(shè)掃(sǎo)描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束(shù)敏感樣品和需300萬倍穩定觀察的半導體(tǐ)器(qì)件(jiàn),高分辨成像所設計。
新的電子槍和電子光學(xué)設計提(tí)高了低加(jiā)速電壓性能。
0.4nm / 30kV(SE)
1.2nm / 1kV(SE)
0.34nm / 30kV(STEM)
用(yòng)改良(liáng)的高真空性能和(hé)的電子束(shù)穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現高(gāo)效率截麵觀(guān)察。
采用設(shè)計(jì)的Super E x B能量(liáng)過濾技術,高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。