氦質譜(pǔ)檢(jiǎn)漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體(tǐ)工業名詞術語，用氦氣(qì)或(huò)者氫氣作示漏氣(qì)體，以(yǐ)氣體分析儀(yí)檢測氦氣而(ér)進行檢漏的質(zhì)譜儀(yí)。氦氣的本底噪聲低，分子(zǐ)量及粘滯係數小，因而易通過漏(lòu)孔(kǒng)並易擴散；另(lìng)外，氦係惰性氣體，不(bù)腐蝕設備，故常用氦作(zuò)示漏(lòu)氣體。將這種氣體噴到接有氣(qì)體分析儀（調(tiáo)整到僅對氦(hài)氣(qì)反應的工作狀態）的(dí)被檢(jiǎn)容器上(shàng)，若容器有漏孔，則分析儀即有所(suǒ)反應(yīng)🦷，從而(ér)可知漏孔所在及漏氣量大(dà)小。
氦質譜檢漏技術是真空檢(jiǎn)漏領(lǐng)域裏*的一種技術，由於(yú)檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的幹擾(rǎo)，在(zài)電阻爐檢漏中得到了廣泛應用(yòng)。氦(hài)質譜檢漏儀是根據質譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體製成的(dí)氣密性檢測儀(yí)器。由離(lí)子源，分析器，收集器，冷(lěng)陰極(jí)電離規組成的質譜室和抽氣(qì)係統及電氣部分等組成(chéng)。質譜室裏的燈絲發射出來的(dí)電子(zǐ)，在(zài)室(shì)內來(lái)回地振蕩🂽，並與室內氣體(tǐ)和(hé)經漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離(lí)子在加速(sù)電(diàn)場作用下進人磁場，由於洛倫(lún)茲力作用產(chǎn)生(shēng)偏轉，形(xíng)成圓(yuán)弧形軌道，改變加速電壓(yā)可(kě)使不同質量的離子(zǐ)通過磁場和接收(shōu)縫到達接收極而被檢測。噴氦法(fǎ)，吸氦法是氦質譜(pǔ)檢漏儀在電阻爐檢(jiǎn)漏中常用的兩種方(fāng)法。
