日(rì)立科學公司於2019年3月起，在中(zhōng)
國開始銷售利用光(guāng)幹涉原理

進行非接觸式無損傷三維表麵形(xíng)態測量的納(nà)
米(mǐ)尺度3D光學(xué)幹涉測量係統“VS1800"，該產品搭配(pèi)有支(zhī)持多目(mù)的表麵測量標準“ISO 25178*¹參數對比工具"

，通過簡單而的樣(yàng)品測量支(zhī)持客戶的分析業(yè)務，與此同時，憑借不斷創新積累(léi)的三維測量性能，實現高精度，高(gāo)分(fēn)辨(biàn)率的表麵性狀的測量。

  此次發售的“VS1800"產品， 搭配(pèi)了符合ISO 25178標(biāo)準的分析工具 “ISO 25178參數對比工具"🔠。在ISO 25178標準(zhǔn)中規(guī)定了評估表麵性狀的32個項(xiàng)
目的參數🖸，但在(zài)對比樣(yàng)
品(pǐn)時(shí)
，選(xuǎn)擇評估的(dí)參數很難，成為(wéi)分析(xī)業務的難題(tí)。“ISO 25178參(cān)數對比(bǐ)工具"，通過按差異程度大小順序(xù)自動對測(cè)量的參數值(zhí)進行依次排序
，可輕鬆選出對比樣品的參(cān)數，從而支持客(kè)戶的分析業務。 在半導體，汽車
，食品，醫藥品等產(chǎn)業領域的材料研究和開發方麵🔣，為了提高產(chǎn)品(pǐn)的性能與(yǔ)功能，對產(chǎn)品表麵的粗(cū)糙度，凸凹不平(píng)，翹曲(qū)等表麵形狀的評估變(biàn)得尤其重要(yào)。以(yǐ)往，表麵形態的測量方(fāng)法，一般是采用觸針式粗糙度測(cè)
量儀等進行二維測量（綫＋高(gāo)差），但(dàn)近年來(lái)🐰，伴隨(suí)著材(cái)
料的薄膜化和(hé)
微細構造化的加速，需要獲取更多的信息，因此💕，采用掃描型白光(guāng)幹涉顯微(wēi)鏡*²和激(jī)
光顯微鏡*³等(děng)進行三維測量（麵＋高差）便得到(dào)了靈活應用

    此次發售(shòu)
的“VS1800"產(chǎn)品， 搭配了符合ISO 25178標準的分(fēn)
析工具(jù) “ISO 25178參數對比工具"
。在ISO 25178標(biāo)準中規(guī)定了評估(gū)表麵性(xìng)狀的32個項(xiàng)目的參數，但在對(duì)比樣品時，選擇評估的(dí)參數很難，成為分(fēn)析業(yè)務的難題💮。“ISO 25178參數對比工具"🖉
，通過(guò)按差異程度(dù)大小順序自動對測量的參數值進行依次排(pái)序，可輕鬆選出對比樣品的參數
，從而支持客戶的分析業務。

此(cǐ)外
，“VS1800" 產品，通過光幹(gān)涉方法*⁴除(chú)了可實現大視野測量
，0.01nm的(dí)垂直方向(xiàng)分辨率^*5，高重現性外(wài)，亦通過日立科(kē)學自主研(yán)發的技術，繼(jì)承了多層膜(mó)的無(wú)損傷測量等傳統產品的高測量性能。此外，該產品還可搭配(pèi)“大傾斜(xié)角測量選配 "^*6功(gōng)
能(néng)
，通過(guò)捕捉大傾斜角斜麵的微弱的幹涉條紋變化🎞
，實現傳統的光(guāng)幹涉(shè)
方式無法實現的大傾斜(xié)角斜麵測量，從而應對多種(zhǒng)多樣的樣品表(biǎo)
麵性狀的三維測量。

  日立(lì)集團擁有可實現極微細(xì)樣品的高分辨率測量的原子力顯(xiǎn)
微鏡🖂，掃描電子(zǐ)顯微鏡直至大(dà)視(shì)野😁，高精度測量可能的“VS1800"等產(chǎn)品陣容，提供表麵分析解決方(fāng)案，從而滿足客戶的廣泛需求(qiú)🧾。

*1 ISO 25178🀘

：規定(dìng)表麵形態評估(gū)方法的標準。

*2掃(sǎo)
描型白(bái)色幹(gān)涉顯微鏡：利(lì)用(yòng)光幹涉(shè)原理進行非接(jiē)觸(chù)式，無損傷的表麵形態測量(liáng)的(dí)測(cè)量設備😝
。

*3激光顯微鏡：將激光作(zuò)為光源(yuán)進行表(biǎo)麵形態(tài)測量的測量設備(bèi)。

*4光幹涉方(fāng)法：是利用兩列或兩列以上的光波相互疊加而出現光明暗（幹涉條(tiáo)紋）現象(xiàng)（幹涉）的檢查方法。

*5 0.01 nm的垂(chuí)直方向分辨率為Phase模式時的(dí)性(xìng)能。

*6“大傾斜角測量選配"為選擇項目
。

【主要特點】

(1)高測量性能

?垂(chuí)直(zhí)方向分辨率：利用光幹涉方法，通過獨自的算法，實(shí)現0.01 nm*的垂直方向分辨率(shuài)

?重現性：利用幹(gān)涉條紋測量凸凹的高度，通過將來自Z驅動機構(gòu)的影響小化，實現0.1 %以下的重現性(xìng)

?測量(liáng)速度：無損傷測量：通過日立(lì)科學自主(zhǔ)研發的技術，對玻璃和薄膜等透明多層結構樣品(pǐn)進行測量(liáng)時(shí)，無需對樣(yàng)
品進行(háng)加工切割成截(jié)麵，即可在無損傷的情況(kuàng)下，完成多層結構樣品的各層厚(hòu)
度或異物混入狀況的確認以及缺(quē)陷分(fēn)析等 由於不(bù)
需要樣品的前(qián)處理🦝，隻要(yào)將(jiāng)樣品放置(zhì)
在樣品台上即可完(wán)成測量準備(bèi)🌌。通過(guò)光(guāng)幹涉方法 快5秒(miǎo)鐘即(jí)
可完成(chéng)
測(cè)

量(liáng)

?測(cè)量(liáng)視野：以從幹涉條(tiáo)紋獲(huò)
取的信息為基礎進行凸凹高(gāo)度的測量，由(yóu)此(cǐ)可實現廣範圍（One-shot 大6.4 mm×6.4 mm）測(cè)量與高垂直方向分辨率的兩者(zhě)兼顧🕿。此外，通(tōng)過連接多個數據(jù)的圖像(xiàng)🦹，可進(jìn)一步實現廣(guǎng)範(fàn)圍的分析(xī)

* Phase模式時

(2) 易於使用的(dí)操作界麵

采用直觀易懂的操作界麵，能夠輕而易舉地進(jìn)行圖像分析處(chǔ)理(lǐ)前後的圖像對比，從而支持分析時的(dí)合適(shì)圖像處理(lǐ)選擇。此外，可簡(jiǎn)單(dān)
地列(liè)出處(chǔ)理與(yǔ)分析的內容，創建獨自(zì)的分析參數(shù)，重復使(shǐ)用分析參數等，並且還可批量(liáng)處理數據🎢，由此實現統一管理(lǐ)多個樣品(pǐn)和分析結果(guǒ)，減輕繁瑣復雜的後處理。

(3) ISO 25178參數對比工具

在對(duì)
比多個(gè)樣品時，通過將ISO 25178標(biāo)準中規定的32項參數值按差異的大小(xiǎo)順(shùn)序重新排列，從而在樣品對比時能夠輕鬆選取適參數🍣，支持(chí)客戶的分析業務(wù)。

(4) 硬件升級

按每一台XY樣品台的驅動方(fāng)
式(shì)
，設計了3個類型(xíng)的(dí)產品，即基礎模式的手(shǒu)動型Type 1🧛，電(diàn)動型Type 2，Type 3。從Type 1到Type 2，Type 3，均(jūn)可根據不同的用途進行升(shēng)級。