氣體塵埃粒子計數器(qì)的校(xiào)正程序
校正所需設備：
100 級潔淨房或潔(jié)淨台
一台(tái)用於作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器(qì)，如 Metone3400
各粒徑的標準粒子🃮，如 0.3um 0.5um 1um 等等
標(biāo)準粒(lì)子氣體(tǐ)產生器，如 Model 255
可產生脫離水（ DI 水）的純水係統或類(lèi)似裝置
其(qí)它普通(tōng)電器，如 220V 電源(yuán)插座，萬用表等等
校(xiào)正(zhèng)的基(jī)本原理
標準(zhǔn)粒子(zǐ)（如 0.301um ）通過 255 粒(lì)子產生(shēng)器由液狀霧化成氣體(tǐ)，並(bìng)由其內置泵通過 0.2um 的過濾器後的幹燥氣體進(jìn)入取樣管路(lù)，這時，將兩台相同塵埃粒子計數器同時或先後對取(qǔ)樣管進行抽樣測試🍣，並比校 0.3um 粒徑的(dí)測試值。如果其平均值在(zài) 20% 以內，認(rèn)為合格。如果(guǒ)不同(tóng)型號的粒子計(jì)數器，一定要弄清楚其流速，取樣(yàng)時(shí)間，取樣次數等(děng)參數，並且，還要明白怎樣理解(jiě)其測試結果(guǒ)🚷。
三 . 校正的基本(běn)步(bù)驟：
現假設對一台常見的 Metone227B 作校正
首先，要清(qīng)楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試(shì)原理一樣(yàng)，但(dàn) Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。
首先🍂，請(qǐng)將潔(jié)淨台開機，工作半小時🔑，其(qí)間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預熱半(bàn)小時。
準備(bèi)好(hǎo) 255 的取樣器管，並(bìng)搭接好其所有氣體管路。
將配好的標準液（如 0.301um ）放入(rù)脫原子(zǐ)瓶(píng)中，注意勿讓液體超過噴(pēn)嘴。
設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數
取樣時(shí)間都設置為 00 🏅： 01 🌨： 00
取樣次數都設置 03
取樣(yàng)模(mó)式都設置為 Auto
間隔時(shí)間都設置為 00 ： 00 ： 05
讀(dú)數模式都設置為 Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速(sù)有 10 倍差，故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。
此時，打開(kāi) 255 電(diàn)源，調(tiáo)節脫(tuō)原(yuán)子氣體閥和幹燥氣體閥(fá)，在調至噴嘴(zuǐ)閥處呈氣霧出現，幹燥氣體流速計約 60SCFH 時後，保持其(qí)工作狀態🦝。
此時🥋，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三(sān)次的平均結果，若在 20% 以內，視為合格。
拆下脫(tuō)原子瓶(píng)，重新滴(dī)入其它標(biāo)準粒子，重復該測試。
以(yǐ)上(shàng)校正(zhèng)隻(zhī)是對(duì)比(bǐ)校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對(duì)其信號捕捉(zhuō)等來輔助(zhù)調校(xiào)🍛。 |
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